近期普洛帝測控液體顆粒計數(shù)器部門接到好幾個咨詢電話，都是咨詢管控電子級硫酸的儀器。什么是電子級硫酸？電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純試劑，是一種微電子技術發(fā)展過程中不可缺少的關鍵基礎化學試劑。電子級硫酸有哪些應用？電子級硫酸廣泛應用于半導體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過程，主要用于硅
近期普洛帝測控液體顆粒計數(shù)器部門接到好幾個咨詢電話，都是咨詢管控電
子級硫酸的儀器。
什么是電子級硫酸？
電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純試劑，是一種微電子技
術發(fā)展過程中不可缺少的關鍵基礎化學試劑。
電子級硫酸有哪些應用？
電子級硫酸廣泛應用于半導體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過程，主要
用于硅晶片的清洗和蝕刻，可有效除去晶片上的雜質顆粒，無機殘留物和碳沉積
物。
為什么要對電子級硫酸進行顆粒管控？
電子級硫酸的純度和潔凈度對電子元的件成品率、電性能及可靠性有著重要
的影響。電子級硫酸是芯片制造工藝中用量最大的電子化學品，主要用于去除晶
圓片上殘留的金屬和有機物雜質，質量要求高，產(chǎn)品中金屬離子須達到 ppt 級
目前，我國電子級硫酸產(chǎn)品完全依賴德國 BASF 等外企進口，嚴重制約我國
芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展，是主要“卡脖子”產(chǎn)品之一。
近兩年，我國電子級硫酸制備技術取得突破，產(chǎn)品質量顯著提高，電子級硫
酸產(chǎn)品中金屬離子濃度均小于 10ppt，超越了國際 SEMI-C12（金屬離子<100ppt）
級別，與國際電子化學品供應量最大、品質最好的巴斯夫電子級硫酸品質處同一
級（金屬離子<10ppt），達到國內(nèi)領先、世界一流水平。
基于上述原因，我國新的電子級硫酸標準將于 2023 年 5 月 1 日正式施行，
也將顆粒管控提到了標準管控層面。
電子級硫酸管控有哪些難點？
有 2 個，一個是硫酸的腐蝕性，一個是硫酸的濃度。98%濃度的電子級硫酸
的腐蝕性很強，這個就要求顆粒管控的儀器的耐強腐蝕很強。高濃度的硫酸檢測，
接液材質達不到這個檢測濃度就無法需要稀釋檢測，稀釋又會存在手動稀釋和自
動稀釋的問題，都是給電子級硫酸檢測無形中增加了麻煩。
如何解決？
針對這 2 個問題，普洛帝研發(fā)團隊經(jīng)過反復試驗，攻破了這 2 個難點，將電
子級硫酸的檢測濃度提升到 98%。在高濃度強酸性的情況下，依然可以實現(xiàn)顆粒
管控的準確性。這款儀器就是普洛帝自主研發(fā)的品牌型號 PMT-2，選用 0.1-1.0um
檢測范圍的強腐蝕性傳感器，實現(xiàn)了電子級硫酸的顆粒管控目的。目前，已經(jīng)在
江蘇、廣東等地的電子級硫酸生產(chǎn)企業(yè)得到了應用。
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